JKL PVD каптоо негизги процесси

(1) Пре-PVD дарылоо, анын ичинде буюмдарды тазалоо жана алдын ала дарылоо.Тазалоонун спецификалык ыкмаларына жуучу каражатты тазалоо, химиялык эриткич менен тазалоо, ультра үндүк тазалоо жана иондук бомбалоо менен тазалоо кирет.
(2) аларды мешке, анын ичинде вакуумдук камераны тазалоо жана шаймандарды, ошондой эле буюмдарды жана шаймандарды орнотуу, ишке киргизүү жана туташтыруу.
(3) Чаң соргуч, жалпысынан 6,6Па же андан көп сордуруу, вакуумдук насосту кармап туруу жана диффузиялык насосту жылытуу үчүн диффузиялык насостун алдыңкы бөлүгүн мурдараак ачыңыз.Алдын ала ысытуу жетиштүү болгондон кийин, жогорку клапан ачылып, диффузиялык насос менен 6 х 10-3 Па жарым түбүндөгү вакуумга айдалат.
(4) Бышыруу, керектүү температурага чейин нерселерди бышыруу.
(5) Иондук бомбалоо, вакуум жалпысынан 10 Падан 10-1 Пага чейин, иондук бомбалоо чыңалуу 200 Вдан 1 КВга чейинки терс жогорку чыңалуу жана чабуул убактысы 15 минден 30 минге чейин.
(6) Алдын ала эрүү, материалды алдын ала эритүү үчүн токту жөнгө салуу, 1мин ~ 2мин үчүн каптоо жана газсыздандыруу үчүн токту жөнгө салуу.буулануу.Буулануу агымы керектүү тунмалоо убактысы аяктаганга чейин талапка ылайык жөнгө салынат.Муздатуу, буюмдар вакуумдук камерада белгилүү бир температурага чейин муздатылат.
(7) Буюмдарды алып чыккандан кийин, вакуумдук камера жабылат, вакуум l × l0-1Pa чейин эвакуацияланат жана диффузиялык насос техникалык тейлөө насосун жана муздаткыч сууну өчүрүүгө чейин уруксат берилген температурага чейин муздатылат.
 


Посттун убактысы: 07-2021-ж